中科院苏州纳米所崔铮研究员访问应化所

崔铮研究员做报告

1月14日，应中科院长春应用化学研究所高分子物理与化学重点实验室马东阁研究员的邀请，中科院苏州纳米所崔铮研究员访问应化所，并做了题为“微纳米加工技术的过去、现在与未来”的学术报告。

自1959年第一个平面晶体管集成电路问世以来，微纳米加工技术已经经历了50年发展历史。在过去的50年中，微纳米加工技术已经从单一的集成电路加工发展成为微系统与MEMS加工，以及纳米加工等应用广泛的一门技术，成为当今微纳米技术发展的基础。

崔铮研究员在报告中回顾了微纳米加工技术近20年的发展历史，比较了一些常用微纳米加工技术的特点，总结了目前微纳米加工技术的加工能力和极限，并展望了未来微纳米加工技术的发展趋势。

崔铮研究员1988年毕业于南京东南大学，获博士学位。1989年应英国科学与工程研究委员会邀请并全额资助，到英国剑桥大学微电子研究中心做访问研究员(Visiting Fellow)。1993年应聘英国卢瑟福国家实验室微结构中心高级研究员。自1999年起任英国卢瑟福国家实验室微结构中心微纳米技术首席科学家 (Principal Scientist，GroupLeader)。主要研究领域为微纳米加工技术及其应用。2009年9月加盟中科院苏州纳米所。目前担任中科院苏州纳米所印刷电子技术研究中心（筹）主任，交叉学科研究部主任。

崔铮研究员在英国工作20年中先后参加了数十项欧洲与英国研究项目，应邀担任欧洲第六、第七框架研究计划的评审专家，英国国家科研项目评审专家，并应邀为20多种学术杂志评审论文；目前为英国物理学会会员，英国工程技术学会（IET）资深会员（Fellow）。2002年受聘为中国科学院海外评审专家。2004年获中国科学院海外杰出学者基金。2007年参加中科院物理所纳米电子材料与器件海外合作团队。先后独立与合作发表学术论文190余篇。独立撰写并出版专著4部（中英文各两部）。最新专著“微纳米加工技术及其应用（第二版）”于2009年6月由高等教育出版社出版。